二氯硅烷、4109-96-0 CAS查詢、二氯硅烷物化性質

發(fā)布時間:2024-10-21  瀏覽次數(shù):167

 中文名稱： 二氯硅烷  

 中文別名： 三氯矽烷;二氯硅烷;電子級高純二氯二氨硅  

 英文名稱： Dichlorosilane  

 英文別名： dichlorosilane for high purity，electronic grade;DICHLOROSILANE, 99.9+%;DICHLOROSILANE, 25% in heptane;dichlorosilane Cl2H2Si;dichloro-silan;dichlorsilane;siliconchloridehydride;DICHLOROSILANE  

 CAS號： 4109-96-0  

 EINECS號： 223-888-3  

 分子式： Cl2H2Si  

 分子量： 101.01  

 InChI： InChI=1/Cl2Si/c1-3-2  

 分子結構：  

 密度： 1,22 g/cm³  

 熔點： -−122 °C(lit.)  

 沸點： 8.3 °C(lit.)  

 閃點： -37°C  

 折射率： -  

 蒸汽壓： 1254 mm Hg ( 20 °C)  

 物化性質： 無色。易燃。有毒腐蝕性氣體，具有刺激性臭味。熔點-122℃。沸點8.2℃。氣體相對密度(空氣=1)4.599；液體相對密度d_{4}^{-122>。1.42。臨界溫度176.3℃。蒸氣壓力(20℃，絕對壓)0.15 Mpa。比容積(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空氣中爆炸極限1.3％～98％。與水發(fā)生劇烈反應。在濕空氣中水解，生成鹽酸霧。有強腐蝕性。}}  

 產品用途： 用于半導體制造中，尤其是外延法工藝作為硅源。  

 危險品標志：    

 風險術語： -  

 安全術語： 如果接觸眼睛，請立即用大量清水沖洗喝水并尋求醫(yī)療建議、穿戴合適的防護服、戴上合適的手套、佩戴眼部/面部防護用品、如果發(fā)生事故或感到不適，請就醫(yī)立即提出建議（如有可能，展示標簽）