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乙硅烷、1590-87-0 CAS查詢、乙硅烷物化性質
發布時間:2024-10-18
中文名稱: 乙硅烷
中文別名: 乙硅烷;二矽烷
英文名稱: disilane
英文別名: DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane
CAS號: 1590-87-0
EINECS號: 216-466-5
分子式: H6Si2
分子量: 62.22
InChI: InChI=1/H6Si2/c1-2/h1-2H3
分子結構:
密度: 0,686 g/cm3
熔點: --132°C
沸點: -14,5°C
閃點: <10°C
折射率: -
蒸汽壓: - 物化性質: -
產品用途:
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,會沉積非晶硅。這個化學氣相沉積過程與光伏器件的制造有關。它用于生產硅晶圓。
乙硅烷氣體可用于控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中,Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會影響生產的石墨烯的質量。
危險品標志:
安全術語: 空氣中自燃、吸入有害、與皮膚接觸有害、刺激眼睛、刺激呼吸系統、刺激皮膚、吸入可能引起過敏
安全術語: 遠離火源-禁止吸煙、避免接觸皮膚、如果接觸眼睛,請立即用大量清水沖洗喝水并尋求醫療建議、穿戴合適的防護服、戴上合適的手套、佩戴眼部/面部防護用品