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二氟化氙、13709-61-0 CAS查詢、二氟化氙物化性質
發布時間：2024-10-18
中文名稱： 二氟化氙
中文別名： 二氟化氙;四氟化氙
英文名稱： Xenon tetrafluoride
英文別名： XENON(II)FLUORIDE;XENON DIFLUORIDE;XeF4;Xenon fluoride (XeF4);Xenon fluoride (XeF4), (T-4)-;xenon tetrafluoride;XENON DIFLUORIDE, ELECTRONIC GRADE;Tetrafluoroxenon
CAS號： 13709-61-0
EINECS號： 237-260-1
分子式： F2Xe
分子量： 169.29
InChI： -
分子結構：
密度： 4.32 g/mL at 25 °C(lit.)
熔點： -129 °C(lit.)
沸點： 115.73°C (estimate)
閃點： -
折射率： -
蒸汽壓： 3.8 mm Hg ( 25 °C) 物化性質： -
產品用途： 制備一種二氟化氙氣相刻蝕阻擋層，包括如下步驟：(1)將二氟化氙氣體噴灑到裸露的阻擋層的表面；(2)采用光束僅照射電介質層上表面的阻擋層，使電介質層上表面的阻擋層的刻蝕速率高于溝槽和連接孔側壁上的阻擋層的刻蝕速率。本發明通過向電介質層上表面的阻擋層照射光束，提高了電介質層上表面的阻擋層的刻蝕速率，使電介質層上表面的阻擋層的刻蝕速率高于溝槽和連接孔側壁上的阻擋層的刻蝕速率，避免溝槽和連接孔側壁上的阻擋層過度刻蝕，提高了微觀上的刻蝕均勻性，達到了更好的工藝效果。
危險品標志：
安全術語： 與可燃材料接觸可能引起火災、吞食有毒、吸入劇毒、導致燒傷
安全術語： 遠離易燃材料、如果接觸眼睛，請立即用大量清水沖洗喝水并尋求醫療建議、接觸皮膚后，立即用大量…（由制造商規定）、穿戴合適的防護服、戴上合適的手套、佩戴眼部/面部防護用品、如果發生事故或感到不適，請就醫立即提出建議（如有可能，展示標簽）
