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Kevex SIGMATM能譜儀圖像功能的實(shí)現(xiàn)
發(fā)布時(shí)間：2017-09-01
我們?cè)谠械腁MRAY-1000B型掃描電鏡的基礎(chǔ)上,通過改造,使它與美國Kevex公司生產(chǎn)的SIGMATM系列能譜儀有機(jī)地結(jié)合在一起,成為微區(qū)分析和圖像處理的強(qiáng)有利工具。本文著重介紹其圖像處理功能。
SIGMA EDS系統(tǒng)從電子顯微鏡上獲取電子圖像,需要的硬件設(shè)備有探頭/前置放大器、VME脈沖處理器、VME模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)化模塊(ADC)、DBC板及顯微鏡接口盒(也稱為4855)等。
Kevex SIGMATM能譜儀的圖像功能硬件結(jié)構(gòu)圖如下。
DBC―――DBC板使SIGMA具有圖像功能。DBC板通過連接4855的雙向光纜傳輸命令從電子顯微鏡采集圖像。顯微鏡接口盒4855用于成像。該盒子控制顯微鏡電子束并采集視頻輸入,它通過光纜與分析器(Analyzer)相連,是SIGMA與顯微鏡的圖像接口。它的彈性設(shè)計(jì)使之可以配置到任何掃描電子顯微鏡上。這個(gè)盒子通過一個(gè)雙向光纜與SIGMA箱體中的DBC板相連且自帶電源,以避免地線。通過BNC終端同軸電纜與電子顯微鏡相連。4855允許地線通過信號(hào)的許多部分,這對(duì)沒有設(shè)計(jì)外部控制的老電子顯微鏡有用。內(nèi)部電子顯微鏡信號(hào)可以被中斷并傳送到4855。當(dāng)DBC命令4855進(jìn)行控制時(shí),4855將在這些線路中采用延遲中斷線路并扦入4855的信號(hào)。我們需要將它與AMRAY-1000B型掃描電鏡進(jìn)行連接。具體連接見結(jié)構(gòu)圖。PC是一配有1280×1024顯示器的高效奔騰個(gè)人微型計(jì)算機(jī)。它是用戶介面且大多數(shù)處理工作在計(jì)算機(jī)中完成,同時(shí)配有一臺(tái)激光或彩色打印機(jī)、PC通過以太網(wǎng)與VME通訊。
Kevex SIGMATM能譜儀使用的圖像處理和分析軟件是AnalySIS 2?1版。AnalySIS分析軟件可用于單個(gè)或兩個(gè)監(jiān)視器。對(duì)于雙屏顯示,一個(gè)屏作為對(duì)話屏,另一個(gè)屏用來顯示活動(dòng)的圖像。AnalySIS軟件采用的是Graphical User Interfache(GUI圖形用戶界面),通過這個(gè)界面可以把能譜儀采集到的X射線圖進(jìn)行分析和處理,例如加偽彩色、圖像的等灰度線、圖像的重疊、算術(shù)運(yùn)算和邏輯運(yùn)算、微米級(jí)線寬的測量、立體高度的測量等等。總之,圖像分析軟件analySIS是一款功能強(qiáng)大的圖像分析軟件,它完全可以滿足我們對(duì)圖像處理及分析的各種要求。
因此,從能譜儀的發(fā)展歷史可以看出,隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的進(jìn)步,能譜儀已經(jīng)超越了基本的微區(qū)成分分析的功能,同時(shí)具備了強(qiáng)大的圖像處理和分析功能。這種綜合的顯微分析系統(tǒng)已經(jīng)成為分析儀器發(fā)展的一個(gè)必然的趨勢。
摘自：中國計(jì)量測控網(wǎng)
