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Kevex SIGMATM能譜儀圖像功能的實現
發布時間：2017-09-01
我們在原有的AMRAY-1000B型掃描電鏡的基礎上,通過改造,使它與美國Kevex公司生產的SIGMATM系列能譜儀有機地結合在一起,成為微區分析和圖像處理的強有利工具。本文著重介紹其圖像處理功能。
SIGMA EDS系統從電子顯微鏡上獲取電子圖像,需要的硬件設備有探頭/前置放大器、VME脈沖處理器、VME模擬-數字轉化模塊(ADC)、DBC板及顯微鏡接口盒(也稱為4855)等。
Kevex SIGMATM能譜儀的圖像功能硬件結構圖如下。
DBC―――DBC板使SIGMA具有圖像功能。DBC板通過連接4855的雙向光纜傳輸命令從電子顯微鏡采集圖像。顯微鏡接口盒4855用于成像。該盒子控制顯微鏡電子束并采集視頻輸入,它通過光纜與分析器(Analyzer)相連,是SIGMA與顯微鏡的圖像接口。它的彈性設計使之可以配置到任何掃描電子顯微鏡上。這個盒子通過一個雙向光纜與SIGMA箱體中的DBC板相連且自帶電源,以避免地線。通過BNC終端同軸電纜與電子顯微鏡相連。4855允許地線通過信號的許多部分,這對沒有設計外部控制的老電子顯微鏡有用。內部電子顯微鏡信號可以被中斷并傳送到4855。當DBC命令4855進行控制時,4855將在這些線路中采用延遲中斷線路并扦入4855的信號。我們需要將它與AMRAY-1000B型掃描電鏡進行連接。具體連接見結構圖。PC是一配有1280×1024顯示器的高效奔騰個人微型計算機。它是用戶介面且大多數處理工作在計算機中完成,同時配有一臺激光或彩色打印機、PC通過以太網與VME通訊。
Kevex SIGMATM能譜儀使用的圖像處理和分析軟件是AnalySIS 2?1版。AnalySIS分析軟件可用于單個或兩個監視器。對于雙屏顯示,一個屏作為對話屏,另一個屏用來顯示活動的圖像。AnalySIS軟件采用的是Graphical User Interfache(GUI圖形用戶界面),通過這個界面可以把能譜儀采集到的X射線圖進行分析和處理,例如加偽彩色、圖像的等灰度線、圖像的重疊、算術運算和邏輯運算、微米級線寬的測量、立體高度的測量等等。總之,圖像分析軟件analySIS是一款功能強大的圖像分析軟件,它完全可以滿足我們對圖像處理及分析的各種要求。
因此,從能譜儀的發展歷史可以看出,隨著計算機技術的進步,能譜儀已經超越了基本的微區成分分析的功能,同時具備了強大的圖像處理和分析功能。這種綜合的顯微分析系統已經成為分析儀器發展的一個必然的趨勢。
摘自：中國計量測控網
